潔凈車間工程隔離裝置的檢測

一、潔凈車間工程隔離裝置和定位檢漏

根據(jù)相關(guān)規(guī)范的要求，對隔離裝置應(yīng)進(jìn)行檢漏測試。對工作壓力接近大氣壓的隔離裝置(壓差小于1000Pa)進(jìn)行氣密性檢測時(shí)，為對泄漏進(jìn)行定量測量，需要有詳細(xì)的檢測規(guī)程和靈敏的檢測設(shè)備。測試結(jié)果將決定其是否可投入預(yù)期的應(yīng)用，適用時(shí)對某些隔離裝置應(yīng)進(jìn)行檢漏測試。因氣流通過孔洞時(shí)，由于風(fēng)速產(chǎn)生低壓，它能誘導(dǎo)空氣逆向流動(dòng)穿過該孔洞(文丘里效應(yīng))，這時(shí)可發(fā)生泄漏。會(huì)影響在低壓差下工作的裝置，同樣地那些利用正壓或氣流來盡量減少或防止無需物質(zhì)傳遞的裝置，操作中瞬間的容積變化(例如手套進(jìn)入或抽出)可導(dǎo)致出現(xiàn)風(fēng)險(xiǎn)。

1.誘導(dǎo)檢漏

對那些利用壓力或氣流產(chǎn)生風(fēng)速或質(zhì)量流，以減少或阻止無需物質(zhì)傳輸?shù)母綦x裝置，應(yīng)采用可再現(xiàn)的定量檢測方法來確定該系統(tǒng)的隔離能力。檢測方法中應(yīng)考慮的因素包括：

(1)正常運(yùn)行；

(2)靜態(tài)或備用狀態(tài)；

(3)(1)和(2)期間的過渡性變化；

(4)壓力或氣流故障。

在使用手套和手套系統(tǒng)的場合，操作者同時(shí)插入或抽出手套時(shí)，瞬間的容積變化可能導(dǎo)致大于1000Pa的壓差改變，檢測應(yīng)包括這種容積瞬間變化。

任何有類似容積效應(yīng)的設(shè)備都應(yīng)進(jìn)行這種檢漏。檢測設(shè)備和方法：檢測設(shè)備和檢測規(guī)程應(yīng)適合于工藝。合適的檢測設(shè)備應(yīng)包括：氣溶膠發(fā)生器和光度計(jì)；氣溶膠發(fā)生器和雙讀數(shù)離散粒子計(jì)數(shù)器；旋流盤液滴發(fā)生器或類似裝置及合適的探測系統(tǒng)。具體方法是在隔離裝置外面的關(guān)注區(qū)域生成氣溶膠，比較內(nèi)外粒子的濃度，確定是否有顯著泄漏。

2.定位檢漏

封閉式隔離裝置的壓力狀態(tài)是維持其正常性能的重要方面。往往習(xí)慣性地認(rèn)為隔離裝置的泄漏是均勻分布的，而非來自某個(gè)通道。這種假設(shè)對隔離裝置可能不適用，因?yàn)槟硞€(gè)通道可能造成隔離裝置內(nèi)或外的局部空氣的嚴(yán)重超標(biāo)。因此應(yīng)強(qiáng)調(diào)檢漏的重要性，當(dāng)因內(nèi)外壓差在某些部位存在顯著泄漏時(shí)，簡單的定位方法是將大量肥皂液涂抹到被測隔離裝置的可疑區(qū)域，肥皂泡可明示出泄漏所在。另外兩種常用的定位方法：一是向隔離裝置內(nèi)充入氦氣或其他適用氣體，使隔離裝置內(nèi)達(dá)到1000Pa的正壓，然后用適用探頭監(jiān)測可疑區(qū)域，使用惰性氣體檢測時(shí)要格外小心；二是先用氨氣加壓，然后用濕pH試紙檢測；或利用煙霧直觀檢測、照相、錄像等可視檢查。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈車間、凈化工程的咨詢、規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工、安裝改造等配套服務(wù)。

按照對壓力檢漏的不同靈敏度，有以下排序：

(1)用適當(dāng)?shù)谋砻婊钚詣┻M(jìn)行氣泡檢測；

(2)使用熱傳導(dǎo)探頭探測CO₂，He，Ar等氣體；

(3)使用電離檢測器探測SF₆；

(4)使用氦質(zhì)譜檢漏儀探測氦氣。需要注意的是，氦氣會(huì)滲入聚合材料，材料釋放氣體可能產(chǎn)生信號。

采用上述示蹤氣體的方法，可以辨別泄漏程度，但都不能定量。

二、潔凈車間工程隔離裝置氣密性壓力檢漏

檢漏方法如下：

對剛性壁負(fù)壓隔離裝置，相關(guān)規(guī)范規(guī)定了三種檢漏方法：含氧法、壓力變化法和恒壓法。普通泄漏量檢測在正常工作壓力(通常約250Pa)下進(jìn)行，驗(yàn)收檢測的壓力可高達(dá)1000Pa。上述方法是為負(fù)壓檢測規(guī)定的，其中只有含氧法既可進(jìn)行正壓檢測，又可進(jìn)行負(fù)壓檢測。在接近于大氣狀況的壓力檢測，溫度等環(huán)境參數(shù)變化會(huì)影響檢測結(jié)果，采用靈敏的儀器測量各項(xiàng)參數(shù)有助于提高檢測的準(zhǔn)確度。在正常運(yùn)行或系統(tǒng)故障期間，隔離裝置可能出現(xiàn)正壓也可能出現(xiàn)負(fù)壓。

不論正壓還是負(fù)壓，驗(yàn)收檢測時(shí)須對被測隔離裝置的超高壓或超低壓情況采取安全防范措施。測試時(shí)禁止出現(xiàn)壓力超過經(jīng)過驗(yàn)證的試驗(yàn)壓力，否則薄壁等部分可能會(huì)出現(xiàn)結(jié)構(gòu)性損傷。即使是低氣壓試驗(yàn)也可能造成輕型結(jié)構(gòu)塌陷等損傷，對設(shè)備進(jìn)行高或中度壓力氣密性檢測時(shí)需要關(guān)注更多問題。隔離裝置的升壓檢測需要恒定的容積，這類檢測方法對微小的容積變化很敏感，任何容易出現(xiàn)容積變化的已安裝設(shè)備不僅會(huì)造成虛假試驗(yàn)結(jié)果，還可能會(huì)使密封油和油脂等物質(zhì)外泄。

如果檢測介質(zhì)采用壓力容器中的惰性氣體，就須在試驗(yàn)前安裝必要的減壓和調(diào)壓設(shè)備，并在檢查過那些設(shè)備之后再進(jìn)行檢測。需要特別注意“主動(dòng)式”隔離裝置的檢測，須遵守地方安全法規(guī)。檢測前要認(rèn)真調(diào)查，保證采用安全方式對隔離裝置進(jìn)行隔離，并可在緊急情況下迅速返回到正常工作狀態(tài)。進(jìn)行檢測前，隔離裝置須處于靜止?fàn)顟B(tài)，隔離裝置的壁板或其他結(jié)構(gòu)脆弱時(shí)，它的“晃動(dòng)”或移動(dòng)容易改變?nèi)莘e，如可能應(yīng)在檢測期間對其加固。被試隔離裝置需要位于無陽光直射、通風(fēng)不暢的地方。為保證所有設(shè)備溫度相同，檢測設(shè)備應(yīng)在檢測前約30min或更長的時(shí)間就位。

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