防止潔凈室及相關受控環境的空氣分子污物

潔凈室及相關受控環境的空氣分子污物，不外乎來自于室外空氣和室內設施、工藝和人員等方面。在工程設計和制定控制要求的初始階段和設施運行過程中，須了解、掌握這些發生源的規律和參數，以便根據生產、工藝、科研的需要，采取相應有效的措施，將室內環境分子的濃度控制在允許值以下，為此需要進行以下一些工作。

1.確定分子控制等級及ISO-AMC

對于某個潔凈室及相關受控環境而言，確定其空氣分子控制等級是設計、建造和運行管理的重要前提條件。只有明確了此項參數，才有可能創建符合工藝、產品所須的室內環境，進而保障工藝的正常過程和產品的質量。

首先，要明確產品或工藝是否受空氣分子污物的影響，及其影響程度。以集成電路為例，在集成度較低時，晶圓片直徑較小、電路上的線寬尺寸較大、生產工藝較簡單、工序較少，當時空氣環境的塵粒潔凈度是影響產品質量的主要因素。那時空氣環境中并不是不存在空氣分子污物，只是當時集成度較低，空氣分子并不足以影響產品的品質。而隨著集成電路工藝的飛速提升，集成度急劇增加，盡管生產環境的空氣潔凈度相應升級，但新產品的成品率并不理想。經過對產品工藝和環境等相關因素的反復深入剖析后，才確定空氣環境中的某些分子污物是重要的制約因素。

由此可知，客觀存在于空氣中的空氣分子污物并不是在任何情況下都會成為控制的對象。在許多行業生產中，空氣分子對工藝產品并無明顯的影響，但對于某些行業，根據所積累的生產經驗和產品質量剖析得知，當某些空氣分子污物達到一定濃度限值以上，就會影響工藝和產品質量。那么建設單位就應按照需要，采取相應的技術措施，以保障生產工藝和產品質量。為此須確定影響產品或工藝的類別，以及是否需要特殊關注某種或某類空氣分子污物及其濃度。在此基礎上進一步根據相關標準或生產經驗確定產品或工藝所允許的污物(類別、物質組)的較大濃度，并按相關規定確定其控制等級和該場所空氣環境的ISO-AMC描述符等。

2.空氣分子污染源

潔凈室及相關受控環境的空氣分子污染物來源不外乎以下方面：

（1）.室外空氣

室外空氣作為新風提供給潔凈室及相關受控環境，以滿足設施內人員對新鮮空氣的需要，并用以平衡排風、正壓泄露所需補充的空氣，這是多數場所共同面對的情況。隨著室外大氣環境問題日趨嚴重，新風中所含多種氣體分子污物濃度也日漸增大，對某些工藝和產品質量的威脅日趨嚴重。例如，微電子、光電子(TFT，LCD，LED) 等工廠要求清除或降低新風中的硫、氮、氨及氨的化合物等氣體分子污物，以保障產品質量。

與室外空氣溫濕度相比較，室外空氣分子污物的類別及其濃度更為復雜多變。不同地域、不同的周邊環境、不同的季節、不同的時辰，室外新風所含各種空氣分子的濃度都有變化，甚至變化很大。特別是我國正處在工業化、城市化的急速發展的進程中，盡管不斷強化環保工作，但在許多地方大氣環境仍日趨嚴重。多數地區還不能提供完整的大氣空氣分子的檢測資料，更何況這些數據還因為新工廠、新工地、新道路如同雨后春筍般冒出，而持續地刷新。潔凈室與相關受控環境設施在選址時，要盡可能遠離工廠、發電廠、水處理廠等企業，遠離機場、鐵路和交通干道，以盡量減少室外空氣污物的影響。

對需要防止空氣分子污物的潔凈室及相關受控環境，應按照相關規定的要求，策劃人員、設計人員和管理人員“需要用足夠長的時間進行建設地點所關注的空氣分子污物濃度分析，以便評估其變化情況，還要考慮到將來可能出現的室外空氣的變化。”

此外相關的規定還指出：“有些場所通過對主導風向和污染源等因素的分析，合理地選擇新風口位置，可以減小分子污物的濃度。”從潔凈室及相關受控環境運行及維護管理的角度出發，了解并掌握室外空氣污物可能對所負責環境的不同部位、不同季節的不同影響，制訂相應的技術措施以保障室內工作或生產環境達標。中凈環球凈化可提供潔凈室、凈化工程的咨詢、規劃、設計、施工、安裝改造等配套服務。

（2）.建筑材料室內污染

隨著化學工業的進步，建筑物中純天然建筑材料所占份額越來越少，代之以質地、性能可能更好、工業化生產便利、價格相對低廉的合成建筑材料，以滿足城市化和工業建筑對建材的需求。但與此同時也帶來了因化學合成建筑材料在室內緩釋多種特殊氣體，造成了室內環境的污染。

各種人造板材、纖維板、膠合板、刨花板、復合石膏板材以及在工業建筑中大量采用的金屬夾心板材(內夾玻璃棉板、巖棉板、聚苯乙烯板、聚氨酯、鋁或紙蜂窩等保溫隔熱加固成型材料)，在制作成型的工藝過程中，往往都要使用大量的膠粘劑。用這些材料作為建筑物的隔斷、吊頂或制作成家具，都將會在相當長的時間向室內緩釋甲醛等有機揮發物。高效空氣過濾器在成型及與框架密合時，也需要使用大量的化學膠，它們也會向室內散發有機溶劑等分子污物。

（3）.其他室內污染

除生產工藝以外，室內其他污染源還包括電腦打印、復印等各種電子辦公設備散發的溶劑、氨等臭氣。對于民用的住宅、公共建筑等，以保護人群的健康、舒適等為目標，所關注的室內空氣品質(IAQ)，主要是通過控制室內污染源，并合理增大自然通風或用機械通風方式，以室外空氣稀釋室內污物，一般來說就可以達標。而對于微電子等現代工業的生產車間和某些科研場所，即便是達到了民用“環境空氣質量標準”的室外新風，其中的某些空氣懸浮分子污物仍將嚴重影響產品質量或工藝過程，因此必需配備適宜的氣相空氣凈化裝置以保障室內的生產環境。

3.運行和維護

常見制度如下：

(1)工藝作業中佩戴面罩或佩戴有通風過濾的頭盔；

(2)對服裝及包裝材料進行合格的化學分析；

(3)對清潔劑與其他清潔材料進行合格的化學分析；

(4)對所有產品包裝材料進行合格的化學分析；

(5)使用任何便攜設備或臨時性材料時盡量減少分子污染的作業制度；

(6)在設備維護或修理及服務期間，采用臨時隔離屏障；

(7)為盡量減少分子污染制定相應的操作規程。

對于人員通過規章制度對下述各項進行控制，能防止或盡量減少來自人員的分子污染：

(1)化妝品、香水和護發用品的使用；

(2)吸煙的規定；

(3)對某些食品的食用；

(4)進出規則；

(5)用于個人的清潔和滅菌材料。

上列各項并非全部。

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