微電子無塵室生產施工準備要求

       施工人員進入潔凈區應在更衣室穿好潔凈服、潔凈鞋，并應戴好內置式安全帽、一次性潔凈口罩和一次性潔凈手套，經風淋后進入潔凈區，嚴禁從物流通道進入，進出潔凈區流程應符合本規范要求。人員進出潔凈區的流程示例，在實施中，當建設單位已建立人員進出潔凈區管理制度時，應遵守建設單位的規定，這些規定都是為了無塵室的凈化指標不受破壞而設置的。用于無塵室區安裝設備的材料應符合下列規定，應無塵、無銹、無油脂，且在使用過程中不應產塵埃，設備墊板應按設計或設備技術文件要求制作；若無要求時，可用不銹鋼板制作；對重量輕、無需調節水平度的非精密設備，也可采用厚度不小于6mm的硬PVC板制作；不銹鋼膨脹螺栓應有產品合格證書；不銹鋼化學錨固螺栓除應有產品合格證書外，還應有使用說明書。用于制作獨立基礎和地板加固的碳鋼型材應經過熱鍍鋅處理。用于嵌縫的彈性密封材料的化學成分應經建設單位批準，材料應有注明成分、品種、出廠日期、儲存有效期和施工方法的說明書及產品合格證書，不得使用過期產品。

用于管道氬弧焊的保護氣體、壓力試驗的氣體以及用于管道吹掃的氣體，其純度不得低于管網本底輸送氣體的純度。進入無塵室的材料不得附著塵埃、鐵銹、銅銹、油膩，并要求所用材料在使用過程中不生銹、不散發塵埃，避免破壞工藝環境。使用的緊固件、密封材料應有產品合格證都是為了同一目的，規定用作管道氬弧焊的保護氣體、壓力試驗用氣體、吹掃氣體，其純度不得低于管網本底氣體的純度，是為了保證焊接質量，防止對管道內腔造成污染。用于潔凈區安裝的機具應符合下列要求，潔凈區使用的機具不得在非潔凈區使用，非潔凈區使用的機具也不得在潔凈區使用；機具外露部分不應產塵埃，或具有防止塵埃污染環境的措施。機具搬入潔凈區前應在室外擦洗干凈，然后通過設備搬入口搬入氣閘室或相當的場所進行最后的清潔處理，應達到無塵、無銹、無油垢的要求，并應在經檢查合格后貼上“潔凈”或“潔凈區專用”標識搬入；為防止對無塵室區和開箱后的設備被污染，對在無塵室區內使用的機具需提出潔凈要求。用于室外搬運的機具應符合下列要求，應選用性能良好、安全可靠的機具，機具規格、參數應能滿足設備運輸負荷及外形尺寸的要求；用于起吊設備的吊索應有足夠的強度和韌性，在能夠滿足負荷要求時，應采用尼龍吊帶或錦綸吊帶；當尼龍吊帶或錦綸吊帶的承載能力不能滿足起吊設備荷載要求時，應采用較柔軟的鋼絲繩外套尼龍軟管的吊索。中凈環球凈化可提供無塵室、潔凈室等的咨詢、規劃、設計、施工、安裝、改造等配套服務。

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